Principalele diferențe întresubstrat de nitrură de siliciuși substratul sunt definițiile, utilizările și caracteristicile lor.
Substrat de nitrură de siliciu:substrat cu nitrură de siliciueste un material ceramic utilizat în principal la fabricarea dispozitivelor semiconductoare de putere, în special a modulelor de putere. Are conductivitate termică ridicată, rezistență mecanică ridicată și potrivire termică bună și este potrivit pentru scenarii de aplicare care necesită fiabilitate ridicată și rezistență la temperaturi ridicate. Substrat: substratul se referă de obicei la structura suport de bază utilizată pentru fabricarea așchiilor. Materialele de substrat obișnuite includ plachete de siliciu monocristal, substraturi SOI, substraturi SiGe etc. Alegerea substratului depinde de cerințele specifice ale aplicației, cum ar fi circuite integrate, microprocesoare, memorie etc.
Substrat de nitrură de siliciu
Conductivitate termică ridicată: Conductivitatea termică a nitrurii de siliciu este de până la 80 W/m·K sau mai mult, ceea ce este potrivit pentru nevoile de disipare a căldurii ale dispozitivelor de mare putere. Rezistență mecanică ridicată: Are rezistență ridicată la încovoiere și rezistență ridicată la rupere, asigurând fiabilitatea sa ridicată. Potrivirea coeficientului de dilatare termică : Este foarte similar cu substratul de cristal SiC, asigurând o potrivire stabilă între cele două și sporind fiabilitatea generală .
Substratul
Diferite tipuri : Inclusiv plachete de siliciu monocristal, substraturi SOI, substraturi SiGe etc., fiecare material de substrat are domeniul său de aplicare specific și avantajele de performanță .
Gamă largă de utilizări : Folosit pentru fabricarea diferitelor tipuri de cipuri și dispozitive, cum ar fi circuite integrate, microprocesoare, memorie etc. .
Sustrat cu nitrură de siliciu : utilizat în principal pentru dispozitive de mare putere în domenii precum vehiculele cu energie nouă și căile moderne de transport. Datorită performanței sale excelente de disipare a căldurii, rezistenței mecanice și stabilității, este potrivit pentru cerințe de înaltă fiabilitate în medii complexe .
Substrat : utilizat pe scară largă în diverse producții de așchii, iar aplicația specifică depinde de tipul de substrat. De exemplu, plachetele de siliciu cu un singur cristal sunt utilizate pe scară largă la fabricarea de circuite integrate și microprocesoare, substraturile SOI sunt potrivite pentru circuite integrate de înaltă performanță, de putere redusă, iar substraturile SiGe sunt utilizate pentru tranzistoare bipolare heterojoncții și circuite de semnal mixt etc. .